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製品情報

光学式プロセスモニタ
Optius

プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。



用途

  • 反応性スパッタリングでのプロセス監視及び、MFCのフィードバック制御
  • エッチングプロセスでのエンドポイント検出
  • エッチング、CVD装置のクリーニング状況、初期化の確認

特長

  • 広帯域対応
    測定波長は200~1000nmの広帯域に対応し、複数の指定波長を同時に測定することも可能です。
  • 5ch同時測定
    オプションの拡張ユニット(ESC)を追加すれば、最大5chまで同時測定が可能です。
  • フィードバック制御
    測定結果より外部機器をフィードバック制御することができます。
  • 専用ソフトウェア付属
    反応性スパッタリングやエッチングなどのプロセスに対応した専用ソフトウェアを標準付属しています。
  • 2種の受光ユニット
    受光ユニットは真空/大気の2タイプを用意していますので、用途に応じて選択できます。

仕様

型式 Optius
測定チャンネル数 1ch : 本体ユニット(TSC)
最大5ch:オプション拡張ユニット(ESC)追加時
測定波長範囲 200〜1000nm
波長分解能 *1 1.7nm(FWHM)
測定時間設定 1〜1000ms
PID制御間隔設定 100〜1000ms
測定波長数 *2 10
PID制御可能波長数 *2 1
波長演算処理数 *2 10
判別式処理数 *2 10
アナログ入力 ch数 3ch(測定1ch) 最大15ch(測定5chの場合)
項目 マスフロー流量、電源電圧、圧力
電圧 0 〜+5V または 0 〜+10V
アナログ出力 ch数 4ch(測定1chあたり) 最大20ch(測定5chの場合)
項目 マスフロー指示値、モニタ波長強度、演算結果
電圧 0 〜+5V または 0 〜+10V
デジタル入力 ch数 4ch(測定1chあたり) 最大20ch(測定5chの場合)
項目 スタート、ストップ、アボート
デジタル出力 ch数 4ch(測定1chあたり) 最大20ch(測定5chの場合)
項目 バルブ閉、セットポイント、圧力アラーム、エラー
測定用PCへの接続 *3 LAN( 1000BASE-T/100BASE-TX)
外形寸法(W×D×H) 本体ユニット(TSC): 250×300×121mm
拡張ユニット(ESC, 1ch): 50×300×121mm
質量 本体ユニット(TSC): 4.9kg
拡張ユニット(ESC, 1ch): 1.3kg
電源 AC100 〜 240V( 50/60Hz)
消費電力 100W(5ch使用時)
使用環境 温度:10〜40ºC 湿度:15 〜 80% RH(結露無きこと)
*1 参考値です。
*2 測定1chあたりの同時測定/処理数
*3 測定用のPCは含まれていません。PCのスペックは仕様書にてご確認ください。

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