ドライ真空ポンプ
LR/HR/UR シリーズ
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約80%の消費電力カットが可能です。 また，メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能（オプション）としました。 ECO-SHOCKについての詳細は、関連情報からご覧になれます。
用途
- 活性ガス（CVD、ドライエッチング等）
- 不活性ガス排気（スパッタリング,蒸着，熱処理等）
- 仕込み取り出し室の排気時間短縮（LRシリーズ）
- 粉体の発生するプロセスでの排気（Si単結晶引き上げ等）
- 補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気）
特長
- LRシリーズ：低温領域で均熱化
不活性ガス排気に加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適 - HRシリーズ/URシリーズ：高温領域で均熱化
CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能 - 1000msec以内の瞬停対策
- CE対応可能（オプション）
仕様
| 型名 | LR/HR 60 |
LR/HR 90 |
LR 180 |
LR 421 |
LR 421-T |
UR 421-T |
LR/HR 300 |
LR/HR 600 |
UR 600 |
LR/HR 1200 |
UR 1200 |
||
| 使用ポンプ | DRP | LR/HR 60 |
LR/HR 90 |
LR 180 |
LR 421 |
LR 421-T |
UR 421-T |
LR/HR 60 |
LR/HR 90 |
UR 90 |
LR/HR 90 |
UR 90 |
|
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 最大排気速度 | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 到達圧力 | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 最大排気圧力（吸入圧力） | 大気圧 * | ||||||||||||
| 最大排気口圧力（排出圧力） | 1Pa～大気圧 | ||||||||||||
| 吸気口（CE仕様） | VG50 (KF40) |
VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排気口 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| ドライポンプ表面処理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| メカニカルブースタポンプ表面処理 | - | - | - | - | - | - | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| 質量 | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 電力 | 三相 | VAC (Hz) |
200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| 電流値 | 定常時 | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| 最大値 | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| 冷却水一次圧力 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| 冷却水出入口差圧 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| 冷却水流量 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| パージガス | 一次圧力 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| N2パージ | 軸 | SLM | 5 | ||||||||||
| ガスバラ | SLM | 0～45 | なし*1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
*ご注文時に使用電圧をご指定ください。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度が異常になりインターロックが動作することがあります。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TTのMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*吸気口は、JISフランジが標準です。CE対応の場合は、NWタイプになります。
*1 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積り可能です。
| 型名 | LR1800 | UR1800 | LR3601 | LR3601-TT | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | UR3601-TT | |||
| 使用ポンプ | DRP | LR180 | UR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | UR421-T | ||
| MBP | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T） | PRC-036D | PRC-036D（D-T） | PRC-036C-T | ||||
| 最大排気速度 | m3/h | 50Hz | 1701 | 1701 | 3200 | 2700 | ||||
| 60Hz | 1784 | |||||||||
| L/min | 50Hz | 28350 | 28350 | 53333 | 45000 | |||||
| 60Hz | 29700 | |||||||||
| 到達圧力 | Pa | 0.67 | ||||||||
| 最大排気圧力（吸入圧力） | 大気圧 * | |||||||||
| 最大排気口圧力（排出圧力） | 1Pa～大気圧 | |||||||||
| 吸気口 * | VG150(KF100) | VG150 | ||||||||
| 排気口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| ドライポンプ表面処理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| メカニカルブースタポンプ表面処理 | ○ * | ○ | × | T：× TT：○ | × | TR：× TTR：○ | ○ | |||
| 質量 | kg | 553 | 660 | 720 | 660 | 720 | 720 | |||
| 電力 | 三相 | VAC(Hz) | 200（50/60),220(60) | 180～240/380～440（50/60） | ||||||
| 電流値 | 定常時 | A | 21.4 | 29.2 | 31 | 35.4 | 39.8 | |||
| 最大値 | A | 39.8 | 34.9 | 58.4 | 82 | 68.3 | ||||
| 冷却水一次圧力 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | |||||||
| 冷却水出入口差圧 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | |||||||
| 冷却水流量 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ||||||
| パージガス | 一次圧力 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | |||||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | ||||||||
| N2パージ | 軸 | SLM | 5 | |||||||
| ガスバラ | SLM | 0～45 | 0～195 | なし*1 | 0～45 | なし*1 | 0～45 | 0～195 | ||
*ご注文時に使用電圧をご指定ください。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度が異常になりインターロックが動作することがあります。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TTのMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*吸気口は、JISフランジが標準です。CE対応の場合は、NWタイプになります。
*1 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積り可能です。
■サイレンサ（オプション）
| モデル | 材質 | 表面処理 | 質量（kg） | 接続フランジ |
| RS-01 | SUS304 | GBB処理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB処理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 磨き板 | 12.5 | NW50 |
■モデル適合表
| キット名 | 適合モデル | クランプ | アウターリング | 接続配管 | ステー |
| RS-01キットA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | - | - |
| RS-01キットB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02キットA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02キットB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03キットA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03キットB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
お役立ち情報
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