光交流法熱定数測定装置 LaserPITシリーズ
各種フィルム状膜の面方向の熱伝導性評価。
レーザを交流的に照射AC法（Angstrom法）により、薄板材料の面方向熱拡散率を測定する装置です。
高熱伝導膜では、サブ・ミクロン薄膜の測定も可能です。
用途
- CVDダイヤモンド、窒化アルミニウムなどの高熱伝導率薄板材料（厚さ＜500μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- 銅、ニッケル、ステンレスなどの各種金属薄板材料（厚さ＞5μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- ガラス、樹脂材料などの低熱伝導率薄板材料（厚さ＜500μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- 異方性を有する高熱伝導率グラファイト・シート（厚さ＜100μm）、ポリイミド, PETなど高分子フィルム（厚さ＞5μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- ガラス基板（厚さ30μm）上に成膜された窒化アルミニウム薄膜、酸化アルミニウム薄膜（厚さ100～300nm）などの熱伝導率測定
- ガラス基板（厚さ0.03mm）上に成膜されたDLC薄膜（厚さ＞1μm）の熱伝導率測定
- PET基板（厚さ0.1mm）上に成膜された有機色素薄膜（厚さ100～300nm）の熱伝導率測定
- スパッタリング用各種ターゲット材料の評価
特長
- ダイヤモンドからポリマーまでの広範囲の薄板材料の面内方向熱拡散率測定
- 厚さ３～500μmの自立したシート、フィルム、線材、繊維など広範囲の形態の材料に適用
- 示差法により、基板上に成膜された厚さ100nm～1000nmの薄膜の熱伝導率が測定可能※室温のみ
仕様
| 型式 | LaserPIT-R | LaserPIT-M2 |
|---|---|---|
| 測定物性 | 熱拡散率 | 熱拡散率 |
| 温度範囲 | 室温 | 室温～200℃ |
| 試料寸法 | 自立した薄板試料・幅2.5～5mm×長さ30mm×厚さ3～500μm 基板上の薄膜・幅2.5～5mm×長さ30mm×厚さ100ｎm～1000ｎm |
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| 測定雰囲気 | 真空中(＜0.02Pa) | |
