ドライ真空ポンプ
GRシリーズ
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。
用途
- エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
- 各種成膜装置の仕込取出室の排気
- 真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途
- 真空断熱やガス充填などの真空ガス置換
特長
- 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能
- 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適
- 汎用インダクションモータに対応
- 防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能（オプション）
- マルチ電圧対応モータを採用
*ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください（GR180Aは共通モータ）
仕様
|
型式 |
GR60A |
GR90A |
GR180A | ||||
| Hz | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | 50Hz | 60Hz | |
| 最大排気速度 | m3/h |
62 |
80 | 112 | 126 | 183 | 237 |
| L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
| cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 |
139.5 |
|
|
到達圧力 |
5.0Pa *1 | ||||||
| 3.7 x 10-2Torr *1 | |||||||
| 5.0 x 10-2mbar *1 | |||||||
| 最大排気圧力（吸入圧力） | 大気圧 | ||||||
| 最大排気口圧力（排出圧力） | 1Pa〜大気圧 | ||||||
| 7.5 x 10-3Pa〜大気圧 | |||||||
| 1.0 x 10-2mbar〜大気圧 | |||||||
| 吸気口（CE仕様） | VG50 or ISO63F | Equivalent to VG80 or ISO80F | |||||
| 排気口 | NW40 | ||||||
| DRP表面処理 | ○ | ||||||
| 質量 |
128kg |
188kg |
268kg |
||||
| 冷却水 | 冷却水一次供給圧力 | 0.1〜0.3MPa | |||||
| 14.5〜43.5psi | |||||||
| 冷却水出入口差圧 | >0.1MPa | ||||||
| >14.5psi | |||||||
| 冷却水温度 | 10〜30ºC *2 | ||||||
| 50〜86℃ | |||||||
| 冷却水流量 | >5.0L/m | ||||||
| 窒素ガス |
一次側供給圧力pressure |
0.1〜0.5MPa | |||||
| 14.5〜72.5psi | |||||||
|
二次側調整圧力*3 |
0.05〜0.1MPa (運転時) | ||||||
| 7.3 to 14.5psi | |||||||
|
軸 |
5SLM *4 | ||||||
*1 到達圧力は、窒素ガス（軸シールガス）が、5.0SLMの時の値です。
*2 結露しないこと。.
*3 レギュレータで調整する圧力計の値です。
*4 窒素ガス(軸シールガス）の流量は、5.0SLM 固定です。
■ モータ仕様
ご注文時に下記の表よりモータを選定ください。（GR180Aは共通です）
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型式 |
GR60A | |||||||||||||||
| 選定可能モータ | 200V級モータ | マルチ電圧モータ | ||||||||||||||
| 周波数 |
Hz |
50 |
60 |
50 | 60 |
50 |
60 | |||||||||
| 電圧 |
V |
200 |
200 |
220 |
220 |
240 |
208 |
220 |
240 |
380 |
400 |
415 |
380 |
440 |
460 |
|
| 定格電流 | A | 9.2 | 8.8 | 8.1 | 8.1 | 8.1 | 8.5 | 8.1 | 7.4 | 4.8 | 4.8 | 4.7 | 4.6 | 4.3 | 4.1 | |
| Wiring | Delta wiring | Delta wiring | Star wiring | |||||||||||||
| 型式 | GR90A | |||||||||||||||
| 選定可能モータ | 200V級モータ | マルチ電圧モータ | ||||||||||||||
| 周波数 |
Hz |
50 |
60 |
50 | 60 |
50 |
60 | |||||||||
| 電圧 |
V |
200 |
200 |
220 |
220 |
240 |
208 |
220 |
240 |
380 |
400 |
415 |
380 |
440 |
460 |
|
| 定格電流 | A | 14.2 | 14.1 | 12.8 | 12.8 | 12.7 | 13.4 | 12.8 | 11.8 | 7.5 | 7.4 | 7.3 | 7.3 | 7 | 6.3 | |
| Wiring | Delta wiring | Delta wiring | Star wiring | |||||||||||||
|
型式 |
GR180A | |||||||||||||
| 選定可能モータ | 共通モータ | |||||||||||||
| 周波数 |
Hz |
50 |
60 |
50 |
60 | |||||||||
| 電圧 |
V |
200 |
200 |
240 |
200 |
208 |
220 |
240 |
380 |
400 |
415 |
380 |
440 |
460 |
| 定格電流 | A | 26.1 | 25.1 | 25.7 | 26.3 | 24.9 | 23.9 | 22.5 | 14.5 | 14.7 | 14.9 | 13.9 | 13.3 | 12.5 |
| Wiring | Delta wiring | Star wiring | ||||||||||||
■サイレンサ（オプション）
| モデル | 材質 | 表面処理 | 質量（kg） | 接続フランジ |
| RS-01 | SUS304 | GBB処理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB処理 | 8.3 | NW40 |
■モデル適合表
| キット名 | 適合モデル | クランプ | アウターリング | 接続配管 | ステー |
| RS-01＋キットA | GR60,GR90 | 1 | 1 | - | - |
| RS-01＋キットC | GR180A | 2 | 2 | 1 | 1 |
