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製品情報

イオン銃/電子分光器(CMA) FIG-5 パッケージ

本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した画期的なイオン銃です。
さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られるようになりました。



特長

フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。
高イオン電流密度(>2 mA/cm2 5 kV)により高速スパッタエッチングが可能です。
イオンビーム径を150 μm以下( 5 kV)まで絞ることが可能です。
フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー(10eV)から5keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。
差動排気を行った場合、イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。
フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。
外部制御により、加速電圧のON/OFFおよびラスター制御(X/Y独立 0-10 V)が可能です。

仕様

イオン銃
加速電圧 kV 0〜5
最大ビーム電流 μ 10以上(@5kV)
低速ビーム電流 nA 12(@10eV)
最大ビーム電流密度 mA/cm2 2以上※1
最小ビーム径 μm 200以下※1
ビーム偏向 mm 機械的:± 5  静電的:± 3
ラスター範囲 mm 最大10×10
ソースタイプ 電子衝撃式
フィラメント交換 450時間使用毎
差動圧 10000:1※1
動作距離 mm 30〜70※3
コントロール
加速電圧 kV 0〜5
フロート電圧  V 0〜500
外部制御 加速電圧ON/OFF ラスタ制御※4
寸法W×H×D※5 482×176×375
電力 AC100/115V 1.5A
質量 kg 18.2

※1:加速電圧を5kV、動作距離を30mmとし、ガス種にArを使用した場合
※2:差動排気口に50L/s以上のポンプを取り付けた場合
※3:イオン銃先端から試料までの距離
※4:X/Y独立0-10V電圧制御
※5:W=Width, H=Height, D=Depth

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