イオン銃／電子分光器(CMA) FIG-5 パッケージ
本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した画期的なイオン銃です。
さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られるようになりました。
特長
フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。
高イオン電流密度（>2 mA/cm2 5 kV)により高速スパッタエッチングが可能です。
イオンビーム径を150 μm以下( 5 kV)まで絞ることが可能です。
フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー(10eV)から5keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。
差動排気を行った場合､イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。
フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。
外部制御により、加速電圧のON/OFFおよびラスター制御(X/Y独立 0-10 V)が可能です。
仕様
| イオン銃 | ||
|---|---|---|
| 加速電圧 kV | 0〜5 | |
| 最大ビーム電流 μ | 10以上（＠5kV） | |
| 低速ビーム電流 nA | 12（@10eV） | |
| 最大ビーム電流密度 mA／cm2 | 2以上※1 | |
| 最小ビーム径 μm | 200以下※1 | |
| ビーム偏向 mm | 機械的：± 5 静電的：± 3 | |
| ラスター範囲 mm | 最大10×10 | |
| ソースタイプ | 電子衝撃式 | |
| フィラメント交換 | 450時間使用毎 | |
| 差動圧 | 10000：1※1 | |
| 動作距離 mm | 30〜70※3 | |
| コントロール | ||
|---|---|---|
| 加速電圧 kV | 0〜5 | |
| フロート電圧 V | 0〜500 | |
| 外部制御 | 加速電圧ON/OFF ラスタ制御※4 | |
| 寸法W×H×D※5 ㎜ | 482×176×375 | |
| 電力 | AC100/115V 1.5A | |
| 質量 kg | 18.2 | |
※1：加速電圧を5kV、動作距離を30mmとし、ガス種にArを使用した場合
※2：差動排気口に50L/s以上のポンプを取り付けた場合
※3：イオン銃先端から試料までの距離
※4：X/Y独立0-10V電圧制御
※5：W=Width, H=Height, D=Depth
