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製品情報

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-M6

CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。



用途

  • 光学、光通信部品の蒸着
  • 有機物の蒸着
  • 電子部品,その他の蒸着

特長

  • 5MHzまたは6MHzのクリスタルを6枚搭載可能
  • 真空モータを採用した独自の駆動方式により、高い信頼性を実現
  • クリスタルの交換は、ホルダごと脱着して行えるため簡単
  • クリスタルの発振異常(寿命)を検知し、自動的にクリスタルの切り替えが可能(コントローラにCRTMシリーズを使用した場合)
  • センサヘッドが小型(直径50mm)のため、蒸着装置への取り付けがフレキシブルです。

仕様

センサヘッド部
搭載クリスタル数 6枚
対応クリスタル 5MHzまたは6MHz(選択式) ATカットクリスタル
耐熱温度 350C°
冷却水量 1L / min
重量 1kg
寸法 φ50mm x H 約89mm

コントローラ部
デジタル入力 INIT, CNT, STOP
デジタル出力 Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
ユーティリティ DC24V, 3.0A
寸法   W×D×H 100mm x 252mm x 99mm

お役立ち情報

購入時の注意点
  • CRTSご注文時にオシレータは付属されていますが、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルは、別売りになります(長さをご指定ください)
  • 長寿命CRTSの場合は、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルとオシレータコントロールケーブルの2本が必要です。それぞれ別売りになります(長さをご指定ください)
  • CRTSご注文時には、導入端子からセンサー先端までの長さをご指定ください(付属の内部ケーブル長も自動的にセンサー長に合わせます)
セレクションガイド

水晶発振式成膜コントローラのセレクションガイドはコチラから

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