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製品情報

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-12NS

CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。



用途

  • 光学、光通信部品
  • 有機EL
  • 電子部品、その他

特長

  • 5MHz、ATカットクリスタルを12枚搭載可能
  • 真空モータを採用した独自の駆動方式により、高い信頼性を実現
  • クリスタルの交換は、ホルダごと脱着して行えるため簡単
  • クリスタルの異常発振(寿命)を検知し、自動的にクリスタルの切り替えが可能(コントローラにCRTMシリーズを使用時)

仕様

センサヘッド部
搭載クリスタル数 12枚
対応クリスタル 5MHz ATカットクリスタル
耐熱温度 350C°
冷却水量 1L / min
重量 2kg
寸法 φ104mm x H 約61mm
コントローラ部
デジタル入力 INIT, CNT, STOP
デジタル出力 Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
ユーティリティ DC24V, 3.0A
寸法 W×D×H 100mm x 250mm x 99mm

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