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製品情報

水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-6000G

CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。



用途

  • 蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御

特長

  • 優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能
  • サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能
  • 最大99層までの多層膜制御が可能
  • RS232Cを標準装備
  • シングルセンサを2本まで接続可能(切り替え式)
  • プログラム可能なデジタル入出力(各12ch)およびアナログ出力(3ch)を装備

仕様

膜厚・測定分解能 0.041 Å (5 MHz)
0.029 Å (6 MHz)
膜厚表示範囲/表示分解能 0.001kÅ 〜 999.9kÅ / 1Å
蒸着速度表示範囲/表示分解能 0.1 〜 999.9Å/s / 0.1Å/s
対応センサ周波数 5MHz, 6MHz
取り付け可能センサ数

シングルセンサ:2(同時計測は不可、切り替え式)
マルチセンサ:1

サンプリングレート 125ms
多層膜数 99層
デポジションプログラム数 99
デジタル入力/出力 入力:12chプログラマブル
出力:12chプログラマブル
アナログ出力 3chプログラマブル
外形寸法   W×D×H 240mm x 350mm x 99mm

お役立ち情報

購入時の注意点
  • CRTSご注文時にオシレータは付属されていますが、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルは、別売りになります(長さをご指定ください)
  • 長寿命CRTSの場合は、CRTMとオシレータを繋ぐ外部ケーブルとオシレータコントロールケーブルの2本が必要です。それぞれ別売りになります(長さをご指定ください)
  • CRTSご注文時には、導入端子からセンサー先端までの長さをご指定ください(付属の内部ケーブル長も自動的にセンサー長に合わせます)
セレクションガイド

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