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製品情報

縦型プラズマCVD装置
CCV シリーズ

CCVシリーズはa-Si成膜用縦型CVD装置です。30年以上の量産実績を持っています。個別のチャンバーで低デポレートに成膜することで高品質な膜質が得られます。



用途

  • 薄膜太陽電池

特長

  • 経験と信頼性
    30年以上の経験
    量産機の実績と信頼性
  • 高品位な膜質
    低デポレート
    各層を隔離したチャンバー
  • 低ランニングコスト
    NF3不使用
  • 高スループット
    1キャリアに付き2枚の基板を搭載

仕様

Model CCV-1400-12 CCV-1400-16
基板サイズ(mm) 1100×1400×t4 1100×1400×t4
部屋構成 1) 仕込加熱室 1室
2) 加熱室 1室 2室
3) 反応室 9室 12室
4) 取出室 1室
5) 排気系 DRP+MBP
6) 移載機 多軸ロボット
7) リターン系 大気リターンコンベア
標準タクト 180sec/枚 (ULVAC標準条件) 90sec/枚 (ULVAC標準条件)
加熱温度 200ºC
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