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製品情報

水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア
Depoview

Depoviewは、アルバック製水晶発振式成膜コントローラ(CRTM)の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフトウェアです。 CRTMとパソコンをRS-232C通信ケーブルでつなぎ、ロギングデータのリアルタイム表示、保存、履歴管理ができます。
Depoviewは、CRTM-9100GとCRTM-6000Gに対応しております。



用途

  • CRTMの膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集、リアルタイム表示、保存、管理

特長

  • CRTMの膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを画面上にリアルタイム表示できます。
  • プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のトレンドグラフを画面上に表示できます。
  • ロギングデータは、CSV形式にてファイルに保存できます。
  • CSV形式のロギングデータを読出し、グラフに表示する事ができます。

仕様

リアルタイム表示 現在の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数、レイヤーNo、プログラムNoを画面上に表示します。CRTM-9100Gでは、SSモジュールカード4枚装着に対応しています。
トレンドグラフ表示 プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のトレンドグラフを画面上に表示します。 最大/最小/平均値、画面の拡大/移動表示が可能です。
データロギング プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数、レイヤーNo.とプログラムNo.を記録し、データをCSV形式ファイルに保存します。
※CRTM-9100Gでは、レイヤーNo.とプログラムNo.は、取得できません。
履歴管理 ロギングデータは、CSV形式にてファイルに保存します。
ロギングデータを読出し、グラフに表示する事ができます。
動作環境 OS:WindowsXP/7日本語版
CPU:PentiumIII 1GHz 以上もしくはその互換プロセッサ
メモリ:256MB以上
その他ハードウェア:COMポート、USBポート、CD-ROMドライブ、解像度XGA以上
付属品 セットアップCD
インストール手順書
ライセンスキー(USBポート使用)
※CRTMとつなぐ、RS-232C通信ケーブルは付属しておりません。
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