真空機器は当社へ!真空ポンプの通信販売も運営しております。

DC電源

DC電源 セレクションガイド

ULVAC の DC 電源は、高速アーク遮断が特徴です。Al、Ni 等の DCスパッタリング用途や異常放電防止器の A2K との組み合わせにより、SiNx や DLC 等の反応性スパッタリングに有効です。
さらに、バイアス用電源としても使用可能です。

主な用途 容量帯 出力
電圧
出力電流 特長 規格 入力電圧 型式

実験用途
バイアス電源

dcs-series

500W 800V 1.25A タップ切り替えなしで
広い出力範囲
100V/200V DCS-0052B
2kW 800V 5A タップ切り替えなしで
広い出力範囲 
200V DCS-0202B
4kW 800V 10A タップ切り替えなしで
広い出力範囲
200V DCS-0402B

各種スパッタ装置用

DC電源 DPG-10/DPG-20

10KW 800V 25A 並列接続運転可能 CE AC208V DPG-10
1000V 16.7A 並列接続運転可能 CE AC208V DPG-10H
20KW 800V 50A 並列接続運転可能 CE AC208V DPG-20
1000V 33.3A 並列接続運転可能 CE AC208V DPG-20H
FPD、タッチパネル、
LED、EMI、防汚膜、
ミラー、ハードコート、
バリア膜
30kW 1200V 55A 並列接続運転可能 CE 400V系統 DPG-30R

メールでお問い合わせはこちら

コンポーネントガイド

コンポーネントガイド

  • Contact us by e-mail
Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.