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製品情報

スパッタ・ロードロック式

様々な製品、使用用途に応じたロードロック式スパッタリング装置です。

マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。...

裏面・実装用スパッタリング装置 SRH シリーズ

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置...

R&D用スパッタ装置 QAM シリーズ

これまで培ったアルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる装置です。多様性・拡張性を持たせながら、小型化が実現しました。...

マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRONTM-EX2 W300

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラット...

マルチチャンバ型装置 ENTRONTM N300

マルチチャンバ型装置ENTRONTM N300は、適切な投資効率を実現するジャストフィット装置です。PVD、CV...

光学膜用スパッタリング装置 ULDiS シリーズ

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモード® の技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高...

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