SIMS
二次イオン質量分析法 ( SIMS: Secondary Ion Mass Spectrometry ) は試料にイオンを照射し、試料から放出される二次イオンを質量分析することによって、深さ方向の元素分布を高感度におこなう手法です。
飛行時間型二次イオン質量分析装置 (TOF-SIMS)PHI nanoTOF II™
nanoTOF II は、イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザ（TRIFT型アナライザ）を継承しつつ、新しい一次イオン銃に...
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