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製品情報

メカニカルブースターポンプ PRCシリーズ Ver.A

メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10kPa ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。
PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。オプションで大気圧駆動型も選べます。



用途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
  • 分析機器、リークテスト装置
  • ガス置換、充填、真空断熱
  • 熱処理炉、溶解炉
  • その他各種真空装置

特長

  • オイルフリー
    ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。
  • キャンドモータ採用
    キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。
  • 耐腐食性に優れた表面処理
    主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。
  • 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型(オプション:インバータ)
    粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

仕様

型式
PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
最大排気速度 50Hz m3/h(L/min) 280(4670) 500(8330) 1000(16700) 1500(25000)
60Hz 330(5500) 600(10000) 1200(20000) 1800(30000)
最大吸入圧力 50Hz Pa 1.2 x 103 1.3 x 103 1.2 x 103
60Hz 9.3 x 102 1.1 x 103 9.3 x 102
最大許容圧力差 50Hz Pa 4.0 x 103 7.3 x 103 4.3 x 103
60Hz 3.3 x 103 6.0 x 103 3.2 x 103
到達圧力  *1 Pa 4.0 x 10-1 6.7 x 10-1
駆動可能圧力 Pa 〜1.0 x 105(大気圧駆動型)
モータ出力(極数)  *2 kW 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 5.5(2)
使用油 *3 ULVOIL R-4
所要油量 L 0.7 1.5 1.9
冷却方式 水冷
冷却水 一時側圧力 MPa 0.3
出入口差圧 MPa 0.01以上
冷却水量 L/min 2 3
冷却水温度  *4 ºC 5 〜 30
吸気口径 JIS-B-2290 VG80相当 VG100相当 VG150相当
排気口径 JIS-B-2290 VF80相当 VF100相当
外形寸法(W×D×H) mm 296×575×260 356×619×320 406×759×340 406×989×340
質量  *5 kg 51 86 118 150
標準補助ポンプ  *6 VD601 VD901 VS1501 VS2401
オプション 大気圧駆動(インバータ)、潤滑油、潤滑室別排気ポート
注)

本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
到達圧力:4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 torr 圧力:0.05MPa = 0.5kgf/cm2
PRCシリーズは耐圧防爆、安増防爆には対応できません。

*1 ピラニ真空計での測定(補助ポンプ、使用油は標準)。マクライド真空計では4.0×10-2Paになります。
*2 AC200V(50Hz/60Hz)、AC220V(60Hz)、3相
*3 オプションで合成油:R-7000、フッ素油:J25Fが選定できます。
*4 冷却水温が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。
*5 標準ポンプの値。(オプション:インバータは含まず)
*6 標準補助ポンプの性能によりメカニカルブースタポンプの性能が変化します。上記データは、標準補助ポンプと組み合わせた場合の値です。

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