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製品情報

G-TRANシリーズ コールドカソードゲージ
SC1

G-TRAN シリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。フィラメントを使用しないため、の消耗、破損の心配がありません。また、メンテナンスが容易な構造となっていますので、ランニングコストの低減が可能です。



用途

  • 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置のプロセス制御に
  • 炉をはじめとする各種産業機器のプロセス制御に
  • インライン式・枚葉式のように多くのプロセス室をもつ各種製造装置のプロセス制御に

特長

  • トランスデューサ仕様:圧力表示器が不要な場合、
    · 表示構成上の真空計にかかるコストの低減化
    · 制御盤まわりの省スペース化
    ·省配線化
    などを実現
  • 測定子をお客様にて簡単にメンテナンス可能な構造
  • フィラメントを使用していないので再生が可能
  • 制御出力信号:セットポイント2点の出力可能
  • 測定値出力信号:圧力は0〜10V出力(非線形出力)
  • 電源電圧:DC24Vで作動可能

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