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▼ バルブ 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULP-CM 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULP-F 圧空__ベローズ__ＫＦフランジ____超高真空__Ｌ型：VULP-KF 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGP-CS 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGP-F 圧空__Ｏリング-------------------------------------- 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAP 圧空__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLP-US-KF 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLP-U,US 手動__Ｏリング-------------------------------------- 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLH-U,US 手動__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLH-US-KF 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAH 手動__Ｏリング___真空フランジ__真空________Ｌ型：VLHC 手動__Ｏリング___真空フランジ__真空________ストレ-ト：VSHC 手動__ベロ−ズ------------------------------------- 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULH-CM 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULH-F 手動__ベローズ___ＫＦフランジ___超高真空__Ｌ型：VULH-KF 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGH-CS 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGH-F ------------------------------------------------- 手動__Ｏリング___コンフラット____超高真空___エアインレット：10AI 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___メタルバルブ：VUH 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___ミニバルブ：VUH-MVF ------------------------------------------------- バルブ一覧 ------------------------------------------------- 製品情報目次
圧空作動型 ベローズ軸シール式 超高真空ゲートバルブ （コンフラットフランジタイプ） VUGP-CSシリーズ
VUGP-CSシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式超高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが大きく真空ポンプの排気性能等を最大限に発揮します。
特長
ベローズ軸シール方式の採用によりパーティクルフリー
構造の簡易化により、メンテナンス性が良い
表面電解研磨により、アウトガスが少ない
低価格
高温ベーキングが可能
低振動
用途
各種真空装置の排気系ラインに
仕様
型式
VUGP-CS
呼び口径 A
40(UFC070)〜250(UFC306)
本体材質
バルブボディー、 ディスク：ステンレス鋼
ガスケット材質
ボンネットシール：銀線、 ディスクシール：フッ素ゴム
ベーキング許容温度 ℃
OPEN：200 / CLOSE：150 *1
使用圧力範囲 Pa
105〜10-8
リーク量 Pa・m3/s
<1.3×10-11 *2
許容周囲温度 ℃
5〜40
作動形式
圧縮空気作動
圧縮空気作動圧力 MPa G
0.45〜0.7
開閉信号出力
取付け可(オプション)*3
逆圧
標準で逆圧対応
注：1,
本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は右のようになります。1Pa=7.5×10-3Torr
2,
バルブの開閉動作は、最大差圧：1000Pa以下で行って下さい。
*1：
シリンダーの加熱不可。
*2：
リーク量にOリングの透過量は含みません。
*3：
オートスイッチ型式：D-A54(インジケーターランプ付、DC24V / AC100V共用)
外観図
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技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。
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