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▼ バルブ 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULP-CM 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULP-F 圧空__ベローズ__ＫＦフランジ____超高真空__Ｌ型：VULP-KF 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGP-CS 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGP-F 圧空__Ｏリング-------------------------------------- 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAP 圧空__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLP-US-KF 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLP-U,US 手動__Ｏリング-------------------------------------- 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLH-U,US 手動__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLH-US-KF 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAH 手動__ベロ−ズ------------------------------------- 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULH-CM 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULH-F 手動__ベローズ___ＫＦフランジ___超高真空__Ｌ型：VULH-KF 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGH-CS 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGH-F ------------------------------------------------- 手動__Ｏリング___コンフラット____超高真空___エアインレット：10AI 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___メタルバルブ：VUH 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___ミニバルブ：VUH-MVF ------------------------------------------------- バルブ一覧 ------------------------------------------------- 製品情報目次
手動型ベローズ軸シール式 超高真空ゲートバルブ （真空フランジタイプ） VUGH-Fシリーズ
VUGH-Fシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式超高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。
特長
ベローズ軸シール方式の採用によりパーティクルフリー
構造の簡易化により、メンテナンス性が良い
表面電解研磨により、アウトガスが少ない
低価格
用途
各種真空装置の排気系ラインに
仕様
型式
VUGH-F
呼び口径 A
40A〜250A
本体材質
バルブボディ、 ディスク：ステンレス鋼
ガスケット材質
フッ素ゴム
ベーキング許容温度 ℃
MAX：150
使用圧力範囲 Pa
105〜10-8
リーク量 Pa・m3/s
<1.3×10-11 *1
許容周囲温度 ℃
5〜40
作動形式
手動
逆圧
標準で逆圧対応
注：1,
本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は右のようになります。1Pa=7.5×10-3Torr
2,
バルブの開閉動作は、最大差圧：1000Pa以下で行って下さい。
*1：
リーク量にOリングの透過量は含みません。
外観図
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技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。
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