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▼ バルブ 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULP-CM 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULP-F 圧空__ベローズ__ＫＦフランジ____超高真空__Ｌ型：VULP-KF 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGP-CS 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGP-F 圧空__Ｏリング-------------------------------------- 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAP 圧空__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLP-US-KF 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLP-U,US 手動__Ｏリング-------------------------------------- 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLH-U,US 手動__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLH-US-KF 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAH 手動__Ｏリング___真空フランジ__真空________Ｌ型：VLHC 手動__Ｏリング___真空フランジ__真空________ストレ-ト：VSHC 手動__ベロ−ズ------------------------------------- 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULH-CM 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULH-F 手動__ベローズ___ＫＦフランジ___超高真空__Ｌ型：VULH-KF 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGH-CS 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGH-F ------------------------------------------------- 手動__Ｏリング___コンフラット____超高真空___エアインレット：10AI 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___メタルバルブ：VUH 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___ミニバルブ：VUH-MVF ------------------------------------------------- バルブ一覧 ------------------------------------------------- 製品情報目次
圧空作動型 Oリング軸シール式 高真空ゲートバルブ VAPシリーズ
VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが大きく真空ポンプの排気性能等を最大限に発揮します。
特長
空気の巻込みが少ない、Oリング軸シール方式
構造の簡易化により、メンテナンス性が良い
アルミニウム合金の採用により軽量化を実現
リンク機構の採用によりコンパクト化を実現
低振動
低価格
用途
各種真空装置の排気系ラインに
仕様
型式
VAP
呼び口径 A(B)
100A(4B)〜350A(14B)
本体材質
アルミニウム合金(内部部品：軟鋼、ニッケルメッキ)
ガスケット材質
ニトリルゴム
ベーキング許容温度 ℃
<60
使用圧力範囲 Pa
105〜10-5
リーク量 Pa・m3/s
<7.0×10-9 *1
許容周囲温度 ℃
5〜40
作動形式
圧縮空気作動
圧縮空気操作圧力 MPa
0.3〜0.5
開閉信号出力
取付け可能(オプション) *2
逆圧
標準で逆圧対応
備考
フッ素ゴム対応可能(オプション) )、中間停止機能*3
注：1,
本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は右のようになります。1Pa=7.5×10-3Torr
2,
バルブの開閉動作は、最大差圧：1000Pa以下で行って下さい。
*1：
a:静止時の封止特性値です。リーク量にOリングの透過量は含みません。
b:弁体の動作中は、シャフトに付着した空気を巻込むことがあり、見かけの
リーク量が増加することがあります。
*2：
開閉信号には、3種類を用意しています。有接点での商品をご注文の際は信号型式と開側、閉側のどちらかをご提示下さい。
(1)
D-A72(インジケーターランプ付き、AC200V用)
(2)
D-A73(インジケーターランプ付き、DC24V・AC100V用)
(3)
D-A80(インジケーターランプ無し、DC24V・AC100V用)
*3：
VAP-250以上より対応可能
外観図
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技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。
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