→戻る
▼ バルブ 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULP-CM 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULP-F 圧空__ベローズ__ＫＦフランジ____超高真空__Ｌ型：VULP-KF 圧空__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGP-CS 圧空__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGP-F 圧空__Ｏリング-------------------------------------- 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAP 圧空__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLP-US-KF 圧空__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLP-U,US 手動__Ｏリング-------------------------------------- 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____Ｌ型：VLH-U,US 手動__Ｏリング___ＫＦフランジ____高真空_____Ｌ型：VLH-US-KF 手動__Ｏリング___真空フランジ__高真空_____ゲート：VAH 手動__Ｏリング___真空フランジ__真空________Ｌ型：VLHC 手動__Ｏリング___真空フランジ__真空________ストレ-ト：VSHC 手動__ベロ−ズ------------------------------------- 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__Ｌ型：VULH-CM 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__Ｌ型：VULH-F 手動__ベローズ___ＫＦフランジ___超高真空__Ｌ型：VULH-KF 手動__ベローズ__コンフラット_____超高真空__ゲート：VUGH-CS 手動__ベローズ__真空フランジ__超高真空__ゲート：VUGH-F ------------------------------------------------- 手動__Ｏリング___コンフラット____超高真空___エアインレット：10AI 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___メタルバルブ：VUH 手動__ベローズ__コンフラット____超高真空___ミニバルブ：VUH-MVF ------------------------------------------------- バルブ一覧 ------------------------------------------------- 製品情報目次
手動型Oリング軸シール式 高真空ゲートバルブ VAHシリーズ
VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。
特長
空気の巻込みが少ない、Oリング軸シール方式
構造の簡易化により、メンテナンス性が良い
アルミニウム合金の採用により軽量化を実現
リンク機構の採用によりコンパクト化を実現
低振動
低価格
用途
各種真空装置の排気系ラインに
仕様
型式
VAH
呼び口径 A(B)
100A(4B), 150A(6B)
本体材質
アルミニウム合金(内部部品：軟鋼、ニッケルメッキ)
ガスケット材質
ニトリルゴム
ベーキング許容温度 ℃
<60
使用圧力範囲 Pa
105〜10-5
リーク量 Pa・m3/s
<7.0×10-9 *1
許容周囲温度 ℃
5〜40
作動形式
手動
逆圧
標準で逆圧対応
備考
フッ素ゴム対応可能(オプション)
注：1,
本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は右のようになります。1Pa=7.5×10-3Torr
2,
バルブの開閉動作は、最大差圧：1000Pa以下で行って下さい。
*1,
静止時の封止特性値です。リーク量にOリングの透過量は含みません。
,
弁体の動作中は、シャフトに付着した空気を巻込むことがあり、見かけのリーク量が増加することがあります。
外観図
●
本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。
↑
Copyright (C) 2003 アルバック イーエス株式会社
