• 特長↑

  監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能です。

  カップリングフリー機能の搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能です。

  スピードバリアブル機能搭載。排気速度を25%から100%の範囲で可変できます。

  優れた耐食表面処理を施してあります。更なるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能です。(FWシリーズ)

  破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。

• 用途↑

  ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして。(FWシリーズ)

  ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして。(FHシリーズ)

  各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして。

• 仕様↑

  高背圧かつ 大流量型	高背圧かつ 高圧縮型	吸気口 フランジ口径	N2排気速度(L/s) *1 *2
  	UTM-6300FH	JIS VG500	6300
  UTM-3301FW	UTM-3303FH	JIS VG350	3300
  UTM-2300FW	-	JIS VG300	2730
  		JIS VG250	2230
  		ICF305	2110
  UTM-1400FW	-	JIS VG250	1490
  		JIS VG200	1360
  		ICF253	1300
  UTM-1001FW	UTM-1001FH	JIS VG200	1000
  		ICF253	1000
  UTM-800FW	UTM-800FH	JIS VG150	810
  		ICF203	740
  UTM-480FW	UTM-480FH	JIS VG150	480
  		ICF203	480
  UTM-350FW	UTM-350FH	JIS VG100	350
  		ICF152	350

  *1	JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値。
  *2	排気速度は保護金網を装着していない場合の値。

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