粘性流領域の排気時間計算

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真空容器（体積Ｖ：Ｌ）の

圧力Ｐ1（初期圧力：Ｐａ）からＰ2（最終圧力：Ｐａ）なるまで

排気するのにかかる時間（ｔ ：min）は、

真空ポンプの排気速度（配管のコンダクタンスから計算した有効な排気速度）をＳ（Ｌ/min）とすると

【計算式】

【計算例１】

【計算例２】

注１

↑

前提　配管抵抗、放出ガス,漏れ は無視

（水分等の揮発物があると誤差が大きいので注意が必要）

注２

↑

粘性流：気体分子の平均自由行程が導管断面の最小寸法よりも十分に小さい場合におこる導管内

　　　　　の流れ。

気体の圧力が高く（低真空領域）、気体分子同士の衝突が気体分子と管壁との衝突に比べて優勢であるとき、気体分子の流れの状態を決める大きな要素は、気体の粘性です。この流れの場合には、管の中心軸の流速が最も速くなり、管壁では流速が０となる速度分布をもち、流速が時間的に変動しなくなります。このときには気体を流体と同じように取扱うことができます。

注３

結果の利用に関しては一切免責とさせていただきます。

Ｐ1(初期圧力：Ｐａ）　→　Ｐ2（最終圧力：Ｐａ）

になるまで排気するのにかかる時間（ｔ ：ｍｉｎ）

【入力計算表】

min

↑

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