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VPCシリーズ |
機種 |
特長 |
到達圧力 |
排気時間 |
ガラスベルジャー |
油拡散ポンプ |
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高速型 (水冷）
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1.3×10-4Pa以下 |
大気圧から 10-4Pa台 まで 10分以内 |
パイレックス φ390mm ×H350mm |
6インチ 1100L/sec |
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空冷型 /空冷自動型
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6.5×10-4Pa /液体窒素 トラップ使用 |
1.3×10-3Pa まで20分 /液体窒素 トラップ使用 |
ベルジャー 内径 φ150×200H |
50 L/sec |
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空冷型
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6.5×10-4Pa /液体窒素 トラップ使用 |
1.3×10-3Pa まで20分 /液体窒素 トラップ使用 |
ベルジャー 内径 φ300×300H |
240 L/sec / 200 L/sec |
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DEPOXシリーズ |
機種 |
到達圧力 |
排気時間 |
ガラスベルジャー |
メインポンプ |
バックポンプ | |
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6.0×10-4Pa /液体窒素 トラップ使用 |
3.0×10-3Pa まで15分 /液体窒素 トラップ使用 |
ベルジャー 内径 φ300×300H |
油拡散ポンプ （空冷） 200 L/sec |
油回転ポンプ 100 L/min |
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3.0×10-4Pa /液体窒素 トラップ使用 |
1.3×10-3Pa まで10分 /液体窒素 トラップ使用 |
油拡散ポンプ （水冷） 400 L/sec |
油回転ポンプ 200 L/min |
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2.0×10-4Pa /液体窒素 トラップ使用 |
3.0×10-3Pa まで10分 /液体窒素 トラップ使用 |
ターボ分子ポンプ 345 L/sec |
油回転ポンプ 200 L/min |
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2.0×10-4Pa /液体窒素 トラップ使用 |
3.0×10-3Pa まで10分 /液体窒素 トラップ使用 |
ターボ分子ポンプ 345 L/sec |
スクロールポンプ 250 L/min |
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機種 |
到達圧力 |
排気速度 at 13.3Pa |
電源 |
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8.0×10-2Pa | 50m3/h |
1φ 100V 1.5kVA |
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機種 |
特長 |
到達圧力 液体窒素 トラップ 使用時 |
到達圧力 液体窒素 トラップ 使用なし |
油回転 ポンプ |
油拡散 ポンプ |
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空冷型 /空冷自動型
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1.5 × 10-4Pa |
7 × 10-4Pa |
20 L/min |
50 L/sec |
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空冷型
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10-5Pa台 |
10-4Pa台 |
100 L/min |
200 L/sec |
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空冷型
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10-5Pa台 |
10-4Pa台 |
100 L/min |
200 L/sec |
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水冷型
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10-5Pa台 |
10-4Pa台 |
200 L/min |
400 L/sec |
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機種 |
特長 |
到達圧力 |
排気速度 ターボ |
バックポンプ |
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完全ドライ |
10-4Pa台 |
25L/sec |
ダイアフラム ポンプ 7 L/min |
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空冷 |
10-5Pa台 /液体窒素 トラップ使用 |
345L/sec |
油回転ポンプ 200 L/min |
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| 空冷 |
10-5Pa台 /液体窒素 トラップ使用 |
345L/sec |
スクロール ポンプ 250 L/min |
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機種 |
特長 |
到達圧力 |
排気速度 |
真空計 |
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水不使用 |
6.6kPa |
ダイアフラム ポンプ 12L/min |
ブルドン管 真空計 |
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