アルバックイーエス株式会社　真空機器/真空搬送ロボット/搬送コアシステム

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●真空搬送ロボット COVOT

COVOTは、KEYTRANシリーズで蓄積された技術に基づき、高真空対応モデルとして設計された真空搬送ロボットです。

剛性と位置精度に優れた構造はそのままに、コントローラをロボットと一体構造とするなど省スペース化を図っています。

●真空搬送ロボット KEYTRAN-IV ZS　質量分析計

KEYTRAN-IV Zは、は、アルバックの半導体装置用として設計・開発されてきた真空搬送機構の最新型ロボットです。

搬送運転中も超高真空を維持できるなど、ハイエンドの要求に応えたフラッグシップモデルとなっています。

●搬送コアシステム NCH-4000ス分析計 MASS 質量分析計

NCH-4000は、セラウスやエントロンで蓄積された技術に基づき、ベーシックモデルとして設計された搬送コアシステムです。

搬送室は四角形型を採用し、省スペースながら十分な機能を保有しています。

真空搬送ロボットとしてKEYTRAN-IVZ、COVOTのいずれも選択可能です。