アルバックイーエス株式会社　真空機器/真空ポンプ

ドライ真空ポンプ

●ルーツ型ドライ真空ポンプ 　 LR/HRシリーズ

●ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメント 　ECO-SHOCK

●小型ドライ真空ポンプ　（アルバック機工）

油回転真空ポンプ

●小型油回転真空ポンプ　（アルバック機工）

●油回転真空ポンプ　  155L/min～ PVD     ベルト型

●油回転真空ポンプ　  500L/min～ VD       直結型二段式

●油回転真空ポンプ  2500L/min～ VS        直結型一段式

●油回転真空ポンプ　1600L/min～ PKS     ベルト型

●オイルミストトラップ （  200L/min以下) OMT／OMI
●オイルミストトラップ　                        TM/TMX

メカニカルブースタポンプ

●メカニカルブースタポンプ    95m³/h～  PMB-B/C

●メカニカルブースタポンプ  330m³/h～   PRC-A

油拡散ポンプ

●油拡散ポンプ　ULK

ターボ分子ポンプ

●ターボ分子ポンプ   ピポット軸受型          UTM

●ターボ分子ポンプ   デジタル磁気軸受型  UTM-FW/FH

●ターボ分子ポンプ排気ユニット　YTP　ターボ＋油回転

●クライオポンプ 、スーパートラップ、コンプレッサ

クライオポンプとは真空容器内に極低温面を設置し、これに容器内の気体分子を凝縮または吸着させて捕捉し、排気する。

クライオポンプが気体を有効に排気するためには、凝縮の場合には、蒸気圧が、吸着の場合には、吸着平衡圧力が１０^-8Ｐａ以下でなければならない。

イオンポンプ

●アクターポンプ   PST-400CX2/400AX2

●アクターポンプ   PST-200CX2/200AX2

●アクターポンプ   PST-100CX/100AX

●アクターポンプ   PST-050CU/AU

●アクターポンプ   PST-030CU/AU

●イオンポンプコントロール　GST-07L

●チタンゲッタポンプ          PGT

●チタンゲッタポンプ用電源　GGT-3

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガスを吸着排気します。

排気セット　メカブ＋油回転

●排気セット         95m³/h～  YM-VD/YM-VS

排気セット　ターボ＋油回転