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環境対応製品
消費電力８０%削減
ドライポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK
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ECO-SHOCKは、現在ご使用になられているドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 |
特長
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ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 |
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全圧力領域において排気速度の低下がありません。 |
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設置が簡単です。 |
用途
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空気、窒素、アルゴン等の不活性ガス排気に使用しているドライポンプ |
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スパッタ、仕込み取り出し室に使用しているドライポンプ |
仕様
| 型式 | ES10 | |
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電源 |
仕様 |
AC100V〜220V 50/60Hz 1phaｓe |
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消費電力 |
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制御 |
入力 |
遠隔起動・停止 (接点
DC24V 有電圧) |
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出力 |
過電流アラーム出力 (接点
無電圧) |
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操作 |
手動起動スイッチ |
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表示 |
運転時間を表示 |
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外観 |
寸法 |
本体ユニット:175mm×310mm×240mm |
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質量 |
本体ユニット:8.3kg バルブユニット:800g |
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接続 |
接続ポート |
G1/4" (INLET、OUTLET) |
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推奨配管 |
直径6.53mm以上 長さ:3m以下 |
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メーカー |
ULVAC |
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機種名 |
LR60 |
LR90 |
LR180 |
ER80 |
ER150 |
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排気速度 (L/min) *1 |
1300 |
2100 |
3980 |
1300 |
2500 |
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実測消費電力 (kW) *2 |
2.1 |
3.6 |
6.6 |
1.3 |
1.5 |
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ECO-SHOCKを 付属した場合の |
0.7 |
1.0 |
1.6 |
0.3 |
0.3 |
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電力削減率 |
69% |
72% |
76% |
77% |
80% |
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