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製品情報＞ 電源 （RF電源 , DC電源 , 電子ビーム蒸着用電源 , 蒸着用EB蒸発源） |
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RFS-Aシリーズは、薄膜製造装置用の最新高周波電源です。 また、高速オートマッチングの実現や、パルス出力機能、異常放電対策機能も標準装備し高機能と高信頼性を両立しました。 |
電源、MBX別置 13MHz,27Mhz
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RGN-1302は、新開発の高効率アンプを搭載し消費電力を低減した高周波電源です。 また、マッチングボックスと電源を一体型にすることによりRF伝送ラインロスを削減し省電力、小型化を実現しました。 |
電源、MBX一体型 13MHz
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RF電源一覧 |
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●スパッタリング用DC電源 DCL 1kw , 6kw , 10kw
スパッタリング用DC電源DCLシリーズは、異常放電時の放出エネルギーを最小限に抑えるために、世界最高レベルのアークエネルギー抑制機能を標準装備しました。 また、異常放電対策だけでなく、高速制御機能、広範囲な出力制御、通信機能など優れた機能を低価格で実現しました。 |
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●スパッタリング用DC電源 DCS 500w , 2kw , 4kw
スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。また、異常放電防止ユニット（A2K）との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。 |
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DC電源一覧 |
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HPSシリーズは、電子ビーム蒸着用電源です。
EGLシリーズ等のEBガンと組み合わせて安定した蒸着が可能です。
ソリッドステート、空冷でコンパクト設計 |
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EB電源一覧 |
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アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。
小容量の実験用（メタル） に向くEGKシリーズから、 大容量、生産機用（メタル） のEGLシリーズ、 光学用のEGOシリーズ と幅広く揃っています。 |
