小型ドライ真空ポンプ

 

製品情報 小型ドライ真空ポンプ

アルバック機工株式会社・製

 

1)ダイアフラム(モーター内臓)型

2)ダイアフラム(標準)型

3)ダイアフラム(高真空)型

4)ダイアフラム(高真空/耐蝕)型

5)揺動ピストン型

6)回転翼型

7)スクロール型

8)メカニカルブースターポンプ

1) ダイアフラム(モーター内臓)型 ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型真空ポンプは、ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して真空排気を行う真空ポンプです。
オイルポンプほどの高真空は得られませんが、油を使用しないため、メンテナンスが 容易、油蒸気  による汚れがないなど、クリーンな排気ができます。

型式S(1段式)とD(2段式)の違い

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

電源

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(特価販売中!)

 DA-20D

20/24

5.3

1φ, 100V

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 DA-40S

40/46

19.9

1φ, 100V

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 DA-60D

60/72

3.3

1φ, 100V

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 DA-120S

120/144

13.3

1φ, 100V

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 DA-121D

120/145

3.3

1φ, 100V

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 DA-241S

240/260

16.0

1φ, 100V

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2) ダイアフラム(標準)型 ドライ真空ポンプ

小型から大型機種までそろえました。用途に応じて、選択ください。

低真空型から高真空型まで幅広く選択できます。

高真空型は可能ですが、構造上、容量を大きくすることには限度があります。

(原理イメージ)

・ダイアフラム型

・揺動ピストン型

・回転翼型

・スクロール型

 

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

電源

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(特価販売中!)

 DA-15D

12/15

6.7

1φ, 100V

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 DA-30S

24/30

22.6

1φ, 100V

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 DA-30D

30/36

6.7

1φ, 100V

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 DA-60S

60/72

21.3

1φ, 100V

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 DAT-50D

50/55

3.3

1φ, 100V

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DAT-100S

100/110

13.3

1φ, 100V

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DAP- 6D/12S

6/7

12/14

 6.65

24.0

100/200/220V

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DAL-181D

180/210

3.3

3φ, 200V

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DAL-361S

360/390

17.3

3φ, 200V

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0.15Mpaまでの加圧も可能な加減圧両用型のダイアフラムポンプです。

 DAP-15

15/18

39.9/ 加圧0.15MPa

1φ, 100V

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 DAP-30

30/36

33.3/ 加圧0.15MPa

1φ, 100V

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3)  ダイアフラム(高真空)型 ドライ真空ポンプ

オイルレスながら、高真空を実現したポンプです。高真空が必要ながらオイルポンプを使用したくない 場合、短時間で一定の真空度まで排気したい場合、狭小場所の吸着ガスを吸引したい場合などに適 します。

 

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

電源

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 MD4

50/60

0.26

1φ, 100V

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 MD8

100/120

0.26

1φ, 100V

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 DAU-20

20/23

0.2

1φ, 100V

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 DAU-100

100/110

0.27

1φ, 100V

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 DA-41D

40/46

3.3

1φ, 100V

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 DA-81S

75/85

13.3

1φ, 100V

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4) ダイアフラム(高真空/耐食型) ドライ真空ポンプ

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達圧力
kPa

電源

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カタログ

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 DTU-20

20/23

0.2

1φ, 100V

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 DTC-22

20/24

1.0

1φ, 100V

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 DTC-41

40/46

1.0

1φ, 100V

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 DTC-60

60/70

1.0

1φ, 100V

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 DTC-120

120/140

1.0

1φ, 100V

 MD4C

40/50

0.26

1φ, 100V

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 MD8C

80/96

0.26

1φ, 100V

・接ガス部材質 テフロン。高真空/耐食型。
・耐食型の為、有機溶媒ガスを直接吸引できます。高価な冷却トラップは不要です。
 吸引ガスを回収するためには、排気側に水冷管を取り付ける程度で十分です。
・高真空の為、蒸気圧の低いガスにも対応いたします。

 

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5)揺動ピストン型 ドライ真空ポンプ

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

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 DOP-9D

9.0/9.8

6.7/

加圧0.03MPa

1φ, 100V

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 DOP-80S

80/88

5.4

1φ, 100V

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 DOP-40D

40/44

1.2

1φ, 100V

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DOP-80SP

80/84

加圧専用 0.5MPa

1φ, 100V

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機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

電源

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DOP-300SA

300/330

8.0

3φ, 200V

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DOP-420SA

420/460

17.3

3φ, 200V

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大排気量タイプ
ピストンの往復運動を利用して、減圧を行うポンプです。
・消耗部品が少なく長寿命です。
・構造がシンプルなため最高到達圧力はよくありませんが、
低真空領域で安定した圧力が得られます。

 

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回転翼型  ドライ真空ポンプ

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

電源

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 DSB-151

180/200

15.0

3φ, 200V

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 DSB-251

250/310

15.0

3φ, 200V

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 DSB-451

430/530

12.0

3φ, 200V

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 DSB-601

600/700

12.0

3φ, 200V

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ベーンの回転により、吸引排気するタイプの真空ポンプです。オイルポンプと同じような動作原理ですが、オイルレスです。他の方式のオイルレスポンプにくらべ大容量(高排気速度)型のポンプができます。
さらに他の方式にくらべ脈動が少ない特長があり、高速で吸着をくりかえす用途に適します。
排気ガスと同時にベーンの摩耗粉(カーボン粉)が微かに排出されます。

 

スクロール型  ドライ真空ポンプ

機種

設計

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
Pa

電源

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 DIS-90

90/108

≤5

100,115,

200.230V

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 DIS-251

250/300

≤1.6

100,115,

200,230V

 

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 DIS-501

500/600

≤1

 200,208,

230,380,

415,460V

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DISL-100/500

100/120

50

 100,115V

 /200,230V

 

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430/520

10

3φ, 200,208,230V

/380,415,460V

・オイルレスながらオイルポンプなみの高真空が得られます。
排気速度が大きくクリーンな高真空が可能です。
オイルの管理が不要のため、オイルポンプにくらべメンテ費用が低減。
エネルギーコストも大幅低減されます。

 

 

 

8)メカニカルブースターポンプ

機種

排気速度
L/min

(50/60Hz)

最高到達
圧力
kPa

電源

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  MBS-050

50/60

0.04

1φ, 100V

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・ケーシング内にある2個のまゆ型ローターが反対方向に同期回転することにより真空排気するポンプです。
・バックポンプとの組み合わせで、高速排気、高真空排気が可能です。
(注意)バックポンプが必要です。本シリーズの他、バックポンプをご用意ください。

 

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 詳細情報は 「 アルバック機工のホームページ」でご確認ください。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。

 

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