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小型ターボポンプ排気ユニット アルバック機工株式会社 |
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機種 |
特長 |
到達圧力 |
排気速度 ターボ |
バックポンプ |
吸気口 |
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完全ドライ |
10-4Pa台 |
25L/sec |
ダイアフラムポンプ |
ＮＷ−４０ |
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空冷 |
1.3×10-4Pa |
50L/sec |
油回転ポンプ 50 L/min |
ＶＧ−６５ |
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ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 VPＴ−０３０
完全ドライ
アルバック機工株式会社 |
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近年、半導体・分析・検査・理化学・製薬等各分野において、オイルレスのクリーンな真空が求められています。 |
特長↑
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完全ドライです。オイルの逆流はありません。 |
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素早い立上がりで、到達圧力まで一気に排気します。 |
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小型、軽量、コンパクトで、卓上でも使えます。 |
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低振動、低騒音です（50dB(A)） |
仕様↑
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到達圧力 |
10-4Pa台 |
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排気速度 |
25L/sec TMP |
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バックポンプ |
ダイアフラムポンプ |
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始動時間 |
1min |
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冷却方式 |
空冷 |
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周囲温度 |
5-35℃ |
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吸気口 |
NW-40 |
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所要電力 |
1φ100V 460VA |
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外形寸法 |
254mm(W)×319mm(D)×300mm(H) |
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質量 |
16kg |
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ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 VPＴ−０５０
アルバック機工株式会社 |
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本機は、空冷式ターボ分子ポンプを組込んだ超小型高真空排気装置です。 |
特長↑
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コンパクトです。わずか330mm×450mmの面積に置けます。 |
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どこでもすぐ使えます。電源はAC100V、空冷式です。 |
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静かです。運転音・振動音はほとんど皆無です。 |
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振動がほとんどありません。 |
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到達圧力、排気速度が優れています。 |
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保守・点検が容易です。 |
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価格低廉です。 |
仕様↑
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到達圧力 |
1.3×10-4Pa |
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排気系 |
ターボ分子ポンプ：50L/sec
メインゲートバルブ 65A（Al製） リーク用バルブ（ガス導入兼用 1ヶ） |
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架台 |
SSアングル製 焼付塗装処理 |
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操作パネル |
メインスイッチ R.P.用スイッチ／TMPパワーサプライ |
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所要電力 |
1φ 100V 0.75kVA |
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質量 |
45kg |
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外形寸法 |
325mm（W）×450mm（D）×700mm（H） |
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オプション |
オイルミストトラップ（OMT-050A）／ 電離真空計 |
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