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小型真空蒸着装置 【空冷型/空冷自動型】 VPC-060/VPC-060A |
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到達圧力 6.5×10-4Pa /液体窒素トラップ使用 |
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ガラスベルジャー内径 : φ150×200H |
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油拡散ポンプ : 50 L/sec |
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