油回転ポンプはその構造上、排気過程でオイルミストを必ず発生させます。元から防ぐ方法はないため、除去対策としてオイルミストトラップを取り付けるか、ダクト配管を行い屋外に放出するか、排気装置を設けることが必要となります。

油回転真空ポンプが気体を吸気 → 圧縮 → 排気する過程は、ポンプの効率（圧縮比）を高めるために圧縮2工程ではまだ排気弁は開かないように設定されています。排気工程で圧縮された気体とオイルが排気弁を押し上げ排気されます。

逆に言えば排気弁がなければオイルミストは少なくなりますが、圧縮2工程で排気口より圧縮室へ大気が逆流して圧縮比を稼げないので低い圧力をつくれないのです。