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製品情報＞ 成膜制御 水晶発振式成膜コントローラ |
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CRTM-6000は優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 |
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CRTM-9000は優れた膜厚・レート分解能(0.005Å)で低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラです。 オプション追加で最大4元同時の蒸着制御も可能です。 |
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取り付けイメージ
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機種と用途
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CRTS-12は水晶発振式成膜コントローラ“CRTM-6000、9000”用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。 5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。 |
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