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油回転式ポンプの原理 ゲーデ型真空ポンプ |
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1段式:
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ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せが1組のポンプを1段式と呼びます。
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2段式: |
ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せを直列に2組つないで圧縮比を大きくとることにより、低圧力を得るようにしたものを2段式と呼びます。
なお、この組み合わせを3段以上にしても排管抵抗(コンダクタンス)および真空ポンプ油の蒸気圧の関係から、2段式以下の圧力にはならないと言われています。 |
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【注】 大気圧付近での連続運転には不適です。 油回転真空ポンプは、中真空/高真空(100〜0.1Pa)用ポンプとしてすぐれた性能をもっていますが、低真空とくに大気圧付近での連続運転には不適です。 これは真空のシールに真空ポンプ油の油膜を利用しているため、大気圧付近で連続運転いたしますと、ポンプ油がオイルミストとして飛散するためです。 |
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