油回転式ポンプの原理   ゲーデ型真空ポンプ

 

1段式:

 

ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せが1組のポンプを1段式と呼びます。

 

2段式:

ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せを直列に2組つないで圧縮比を大きくとることにより、低圧力を得るようにしたものを2段式と呼びます。

 

なお、この組み合わせを3段以上にしても排管抵抗(コンダクタンス)および真空ポンプ油の蒸気圧の関係から、2段式以下の圧力にはならないと言われています。

【注】

大気圧付近での連続運転には不適です。

油回転真空ポンプは、中真空/高真空(100〜0.1Pa)用ポンプとしてすぐれた性能をもっていますが、低真空とくに大気圧付近での連続運転には不適です。

これは真空のシールに真空ポンプ油の油膜を利用しているため、大気圧付近で連続運転いたしますと、ポンプ油がオイルミストとして飛散するためです。