偏心回転軸に固定されたステムに取り付けられた隔膜（ダイアフラム）の移動により気体を輸送する形式で、隔膜の移動可能量に限界があるため、比較的小容量のものが多いです。
水分が含まれた凝縮性ガスを吸引したとき
水分を取り除く必要があります。特にダイアフラム型真空ポンプの場合、寿命が縮まります。
ポンプ室部品には耐水性でないものがあり、どうしても水蒸気の吸引を避けられない場合は、頻繁に大気開放状態でポンプを運転し、内部の水分を吐き出させるようにしたほうが効果的です。
また、ポンプ室部品が耐水性のあるタイプ（例：フッ素樹脂）を使用するのも一つの手段です。この場合も、使用後あるいは1日数回、大気開放状態でポンプを運転したほうが効果的です。