情報内容

分析機器名称

略記号

励起／検出

形態

元素

分布

層  

構造

結合

状態

英語名

オージェ電子分光装置

ＡＥＳ

電子／電子

○

○

○

△

Auger Electron Spectroscopy

原子間力顕微鏡

ＡＦＭ

−／力

○

Atomic Force Microscope

Ｘ線マイクロアナライザー

ＥＰＭＡ

電子／光

○

○

○

Electron Probe Micro Analyzer

（ＸＭＡ）

（X-ray Micro Analyzer）

Ｘ線光電子分光分析

ＥＳＣＡ

光／電子

Electron Spectroscopy　for Chemical Analysis

(ＸＰＳ)

(X-ray Photoelectron Spectroscopy)

拡張Ｘ線吸収微細構造解析法

ＥＸＡＦＳ

光／強度振動

Extended X-ray Absorption Fine Structure

電界放出顕微鏡

ＦＥＭ

電場／電子

○

△

Field Emission Microscope

電界イオン顕微鏡

ＦＩＭ

電場／ｲｵﾝ

○

Field Ion Microscope

フーリエ変換赤外吸収分光

ＦＴ−ＩＲ

光／光

Fourrier Transform Infrared absorption

誘導結合プラズマ発光分析

ＩＣＰ−ＡＥＳ

熱／光

Induction Coupled Plasma atomic emission spectroscopy-AES

イオン散乱分光

ＩＳＳ

ｲｵﾝ／ｲｵﾝ

○

△

○

Ion Scattering Spectroscopy

低速電子回折

ＬＥＥＤ

電子／電子

Low Energy Electron Diffraction

ラザフォード後方散乱分析

ＲＢＳ

ｲｵﾝ／ｲｵﾝ

○

○

Rutherford Backscattering Spectroscopy

反射電子回折

ＲＨＥＥＤ

電子／電子

Reflection High Energy Electron Diffraction

走査電子顕微鏡

ＳＥＭ

電子／電子

○

Scanning Electron Microscope

二次イオン質量分析

ＳＩＭＳ

ｲｵﾝ／ｲｵﾝ

○

○

○

○

△

Secondary Ion Mass Spectrometry

走査型トンネル顕微鏡

ＳＴＭ

電場／電子

○

○

Scanning Tunnel Microscope

飛行時間型二次イオン質量分析装置

ＴＯＦ-ＳＩＭＳ

ｲｵﾝ／ｲｵﾝ

Time-Of-Flight SIMS