ガス分析計のトラブルチェックリスト真空技術専門商社 ULVAC-ES アルバックイーエス

ガス分析計のトラブルチェックリスト
		→戻る

１．四重極型質量分析計の使用上の注意点 ↑

１）制御系の電源を入れる前に分析管を高真空（１×１０^-2Ｐａ）以下に排気します。

２）すべての配線を行ってから電源をＯＮしないと、ＲＦジェネレータが故障することがあります。

３）フィラメント周辺は高温になっているので、分析管部を大気へ戻すときは、フィラメントを切って

から５分以上放置します。

４）分析管が汚れてくると、分解能、感度が低下して質量スペクトルの波形が崩れてくる現象が

　　　出てくるので、そのときはベーキング、オーバーホールが必要です。

感度劣化　原因　・イオンソースの汚染

・２次電子増倍管の増幅率の低下

波形異常　原因　・四重極部（Ｑポール）の汚染

２．質量分析計、ガス分析計の種類 ↑

３．四極子型質量分析計の名称 ↑

・四重極型質量分析計

・マスフィルター型質量分析計

・ＱＭＳ　ＱｕａｄｒｕｐｏｌｅＭａｓｓＳｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ　　　　　　（quadruple：四重の　ｐｏｌｅ：柱）

・残留ガス分析計　ＲＧＡ　ＲｅｓｉｄｕａｌＧａｓＡｎａｌｙｚｅｒｓ　（残留気体の分析を目的）

・分圧真空計

・プロセスモニタ（残留気体だけでなく、成膜に使用するガスを分析）

４．分解能 ↑

・分解能とは、隣接する（同じ高さの）ピーク重なりの谷がベースラインから全体の高さの１０％

　であるとき、十分な分解能があると考え、これを「10%谷の分解能」と呼びます。

　ひとつのイオンの質量がＭ、２つのピークの質量差がΔＭであるとすると、分解能を、Ｍ/ΔＭ

で表します。

ΔＭ=１(１０％ＰＨ.)ならば、M/ΔＭ=M と M+1が区別できます。