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校正リーク |
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ヘリウム漏れ量を定量化するために校正リークを使用して、ヘリウムリークディテクタの検出装置の校正をします。
校正リークからは、一定量のヘリウムが出るようになっています。
これを検出装置に取り付け、装置に表示されたヘリウム量と、前もってわかっている校正リークの量により検出装置の感度を算出します。
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ａ） |
透過形校正リーク |
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ヘリウムガスを充填したタンク内に石英ガラスでできている導管があり、その石英ガラスをヘリウム分子が一定の割合で透過していきます。
石英ガラスの表面積を適当に選ぶことにより、任意の大きさの校正リークが作れます。 １０-７〜１０-１０Ｐａ・ｍ３／ｓ台のものが市販されています。
精度良く測定するのいであれば、表示されている漏れ量に、その校正リークが校正されたときと、現在との温度差及び経過時間の補正をする必要があります。
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ｂ） |
キャピラリ形校正リーク |
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導管の先端が毛細管のように微少穴になっていて、ここよりヘリウムが導管内部に入ります。この穴の大きさを調整して１０-４〜１０-６Ｐａ・ｍ３／ｓ台のものが市販されています。
透過型に比べて温度係数は小さいです。
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