D-240DK 排気速度曲線
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▼ 排気速度曲線 直結型 ２段式 VD_________ （500L/min〜800L/min) 直結型 ２段式 D-240DK （240L/min) 直結型 １段式 VS_________ （2500L/min〜4800L/min) ベルト型 PVD_______________ （155L/min〜372L/min) ベルト型 PKS_______________ （1600L/min〜7000L/min) ---------------------メカニカルブースタポンプ PMB-001C、PMB-003C、PRC-003A、PRC-006A PRC-012A、PMB-024C PMB-040B、PMB-060B ---------------------油拡散ポンプ ULK-04A、ULK-06A ULK-10A、ULA-14A ---------------スパッタイオンポンプ（アクターポンプ） PST-030 PST-050 PST-100 PST-200 PST-400 --------------------------------------- 製品情報 真空ポンプ
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