真空ポンプの選び方選定選択　真空技術専門商社 ULVAC-ES アルバックイーエス

真空ポンプの種類（型式）の選び方
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目的とする使用条件に合った真空ポンプの種類(型式）の選び方

１）必要とするプロセス圧力（操作圧力）

２）目的の圧力まで排気するのに許される時間

３）プロセス（操作）時に排気しなければならない最大ガス流量

４）どんな気体を吸引するのか。　耐蝕性が必要な場合には、耐蝕ポンプを選定

５）配管の長さ・コンダクタンスなどによる安全率を考慮

注：ポンプ説明

油回転ポンプ　

各摺動部分に潤滑油を入れることでシール性に優れ、作動範囲が広く（大気圧～10Ｐａ以下）小型で経済的であることから、様々な分野で多く使われるポンプです。

ルーツ形送風機を真空用にしたもので、油回転ポンプなどの大気圧で作動できるポンプの前段に取り付けて、排気速度を増幅（ブースト）させるポンプです。

１～１３３０Ｐａの圧力領域で排気速度をかせぐポンプとして、使われます。

作動液（油）は、ボイラ内で加熱され蒸発し、ノズルから噴射されます。

噴射した作動液蒸気は、吸気口から入ってきた気体分子をその噴流内に巻き込みながら、冷却されたポンプ内壁まで到達し、凝縮して液体にもどります。

液化した作動液はポンプ内壁を伝わりボイラにもどります。

気体分子は、油分子に巻き込まれ（撥ね飛ばされ）、ジェットが斜め下方に噴出すためにポンプの下へ追いやられ、結果として、ポンプ作用を行ったことになります。

構造は多段メカブ（ULVAC）。

油回転ポンプと同様の排気曲線です。

メカブのようにクリーンな真空を得られます。

油回転ポンプだと油が劣化しやすいプロセス向きです。

油回転ポンプより消費電力が大きいです。

分子流域で使用さていた油拡散ポンプに代り、使用されるようになってきた高真空を得る為の真空ポンプで、ポンプ内部に油を使用する箇所が少ない為、きれいな真空得られるポンプとして使用されています。

分子流領域で機械的に高速で駆動しているロータ翼の表面に衝突した気体分子に、特定の方向に運動量を与え、一方向に輸送することにより排気する機械式真空ポンプです。

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