注１：ピラニ真空計  計測精度が悪いが、インターロック用途等で精度を必要としない場合に使用。

　　　  　　　　　　　　精度が必要な場合は、キャパシタンスマノメータ（隔膜式真空計）を使用。

       電離真空計  熱陰極型    ・測定全般で一定の精度で使用できる（±１０〜２０％）

　　　　　　　　　　　　　　　　    　・フィラメントを使用し、消耗、断線がある。断線後はセンサの交換。

　　　　　　       　　冷陰極型    ・測定範囲の中で、精度が異なる

                                            （ULVACのペニングはスケールファクタ２

                                             実際の値は、指示値の２倍から１/２の範囲内）

　　　　　　　　　　　　　　　　　    ・フィラメントを使用しないため、丈夫。

　　　　　　　　　　　　　　　　　    ・長時間運転を必要とする場面で使用。

注２：真空計を使用する際、確認することは？

                                          １）どのあたりの圧力を計測するのか？

                                          　  圧力範囲は、上の表を参照ください。

                                          ２）計測するガスは？

                                          　  ガス種に依存しない全圧計か、または、分圧計でもよいのか。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 →真空計の分類を参照ください。

                                          ３）用途は？（プロセス圧力の制御・機器のインターロック用・・・・）

                                          ４）必要な精度は？　　　　　→真空計の概要を参照ください。

                                          ５）必要な応答速度は？　　 →真空計の概要を参照ください。

注３：真空計を使用する際、必要とする機能は？

                                          １）圧力表示　（有無　、アナログ・デジタル）

                                          ２）ＳｅｔＰｏｉｎｔ出力

                                          ３）Ｉ／Ｏ制御機能

                                          ４）レコーダ出力

                                          ５）通信、センサバスによるデジタル制御機能

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