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真空計選定
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注：真空計_説明

マノメータ

二つの部分の気体の圧力差をその間に置かれた弾性体

（隔膜）の弾性変形の大きさから読み取る真空計。

隔膜材としてインコネルが多く用いられていますが、構造上、

大気／真空の繰り返しにより組成変形し、ゼロ点がドリフト

する場合が多いです。

この問題を解消するためセラミック製隔膜を用いた真空計が

セラミックキャパシタンスマノメータ

　　　【特長】

　　　・高精度

　　　・正しい圧力計測が可能

　　　・値段が高い

①気体による熱伝導は分子流領域では気体の入射頻度に

　比例。入射頻度は気体の密度に比例

②フィラメント温度の変化を抵抗変化として測定

③気体の種類により指示が違う

　　　【特長】

　　　・ガスにより指示の変動

　　　・値段が安い

　　　・取扱いが容易

①フィラメントからの熱電子と気体分子との衝突頻度は気体

　の密度に比例。

②衝突によって一定の割合で生成されるイオンを電気的に

　取り入れて圧力に換算

　　　【特長】

　　　・高精度

　　　・寿命がある

　　　・ガスによる指示の変動

フィラメントからの熱電子の代わりに、冷陰極放電による電子を利用して生成されるイオンを電気的に取り入れて圧力に換算

　　　【特長】

　　　・誤差が大きい（熱陰極電離真空計と比べて）

　　　・応答が速い

　　　・メンテナンスが容易・丈夫