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ペニング真空計のトラブルチェックリスト |
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１）放電開始が確実でないときは、ほとんど測定子内部の汚れによるので、洗浄が必要となります。
２）陽極部に高電圧がかかるため、通電中は注意が必要です。
３）一般的に測定気体は窒素に設定されているので、残留ガスの主成分が窒素以外であると実際の
圧力と違う圧力を表示します。
４）電極の表面状態により電子放出が変わるので、汚れなどにより圧力の指示値も変化します。
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現象 |
原因 |
処置方法 |
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電源スイッチを「ＯＮ」にしても電源ランプが点灯しない |
ヒューズきれ |
ヒューズ交換 ヒューズ交換直後もきれる場合は、修理が必要 |
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電源コードが抜けている |
電源コードの接続を確認 |
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電源ランプの断線 |
電源ランプの交換 |
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電源電圧が仕様範囲以下 |
電源電圧を確認 |
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メータが振れない |
測定子ケーブルの断線 |
測定子ケーブルの修理、交換 |
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測定子ケーブルの未接続 |
スイッチを切り、電源プラグを抜いた後、再度ケーブルの接続 |
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メータの破損 |
メータの交換 |
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| 測定子電極部が絶縁物で覆われている | 測定子の洗浄あるいは交換 | |
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指示がおかしい |
指示値が高い。ふらつく場合 |
測定子の絶縁不良または電極の変形 →測定子の洗浄あるいは交換 |
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指示値が低い場合 |
測定子電極部が絶縁物で覆われている →測定子の洗浄あるいは交換 |
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メータが振れるとすぐに「０」になる |
マグネットの取付位置がずれている |
マグネットの取付位置を確認 |
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測定範囲を超えている |
測定範囲を確認 |
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セットポイント信号が出ない |
出力リレーの故障 |
修理を依頼 |
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リレー接点の最小動作電流以下 |
リレーの最小動作電流は10mA |
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