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ピラニ真空計のトラブルチェックリスト |
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１） ピラニ真空計は、気体の熱伝導を利用した真空計なので、気体の種類により圧力の表示に差がでます。
真空計は窒素もしくは空気で校正している。真空槽内がそれ以外の気体、混合ガスの場合は換算が
必要になります。
２） アルバックのピラニ真空計は、フィラメントを一定温度に保つための電力変化量を利用しているので、
圧力が同じでも周囲の温度によって指示値が影響を受けます。
３）測定子ケーブルも回路の一部分となっているので、ケーブルの長さを変えてしまうと、回路の抵抗値
も変わり、指示値も変化してしまいます。
（ただし、センサ側に回路がついているものは、この限りではありません）
４）フィラメントは細い金属線なので、振動、ショックを与えると断線する危険があります。
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現象 |
原因 |
処置方法 |
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電源を入れてもメータの指針が全く振れない |
ヒューズの断線 |
ヒューズの交換 |
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指針が右（または左）に振り切れたままで圧力を変化させても動かない |
測定子のフィラメント断線 |
測定子の交換 |
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測定子ケーブルの断線 |
測定子ケーブルの交換 |
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測定子、測定子ケーブルがコントローラと接続されていない |
測定子、測定子ケーブルの接続 |
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大気圧を測定していても指針が３ｋＰａを超えない |
測定子、測定子ケーブルの長さが指定のものと異なる |
指定のものに取り替える、または、現在使用しているもので再校正を行う |
| 測定をしている気体の種類が空気や窒素ではない | 正常であるが、現在測定している気体で再校正の必要がある | |
| 測定している環境が水分、油分を多く含んだ状態である | 正常であるが、測定子を交換し、油分を除去する | |
| 測定子の汚れ、または、フィラメントの消耗 | 測定子の交換 | |
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指針が振動して一定の値を示さない |
測定子の汚れ、または、フィラメントの消耗 |
測定子の交換 |
| 測定子ケーブルの接触不良 | 測定子ケーブルの交換 | |
| 電源電圧が１００Ｖ±１０％の範囲にない | 電源電圧の見直し | |
| 測定子、または、測定子が取り付けてある付近の漏れ | 測定子の交換、または、その周辺の漏れを直す |
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