注1 結果の利用に関しては一切免責とさせていただきます。
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2.流量単位換算
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注2 ccm cc(cm3)/min、 1 分間あたりに何 cc という形式
sccm standard cc/min、 1 atm (大気圧 1,013hPa )、0 ℃ あるいは、25 ℃ など一定温度 で規格化された ccm
(例)1気圧、20℃で、15cc/minの流量は、 標準状態(normal condition)0℃、1気圧の場合に換算すると 約14cc/min (この数値を14Ncc/minと記述する) 【換算式】 15cc/min× 273 ≒ 14Ncc/min (273+20) |
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注3 排気速度 と 流量の違い
排気速度 : 単位時間あたりに排出される気体の体積 単位はm3/s、L/s等
流量 : 単位時間に 排出される気体の量 単位はPa・m3/s、Pa・L/s等 (排気速度は、体積速度で表示しているので、これにこのときの圧力をかけたもの)
気体の場合、圧力の減少とともに一定空間では同圧になるため、体積速度と流量は同じに なりません。 油回転真空ポンプで考えてみると、1回転の操作で排出されるのはいつも一定体積の気体 であって、一定量の気体ではありません。圧力の減少に伴って排出される気体の量は減少 しています。 |
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