1.流量単位換算 入力表

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×10

      注:10 = 1

 

Pa・m/S

Torr・L/S

 

atm・cm/S

×10

×10

×10

注1  結果の利用に関しては一切免責とさせていただきます。

 

2.流量単位換算                          

 Pa・m/S

 Torr・L/S

 atm・cm/S

  1                

  7.500 62     

  9.869 23        

  0.133 332     

  1              

  1.315 79        

  0.101 325     

  0.76           

  1                 

 

 

注2 

     ccm   cc(cm3)/min、 1 分間あたりに何 cc という形式

 

     sccm  standard cc/min、 1 atm (大気圧 1,013hPa )、0 ℃ あるいは、25 ℃ など一定温度

           で規格化された ccm

 

          

        (例)1気圧、20℃で、15cc/minの流量は、

              標準状態(normal condition)0℃、1気圧の場合に換算すると

           約14cc/min (この数値を14Ncc/minと記述する)

           【換算式】

                            15cc/min×     273      ≒ 14Ncc/min

                                              (273+20)

 

 

注3    排気速度 と 流量の違い

 

            排気速度 : 単位時間あたりに排出される気体の体積 単位はm3/s、L/s等

           

     流量    : 単位時間に    排出される気体の量    単位はPa・m3/s、Pa・L/s等

             (排気速度は、体積速度で表示しているので、これにこのときの圧力をかけたもの)

 

     気体の場合、圧力の減少とともに一定空間では同圧になるため、体積速度と流量は同じに

     なりません。

     油回転真空ポンプで考えてみると、1回転の操作で排出されるのはいつも一定体積の気体

     であって、一定量の気体ではありません。圧力の減少に伴って排出される気体の量は減少

     しています。

      

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