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製品情報

ポンプオプション

ポンプの補器類やトラップ類のご紹介です。過酷なプロセスのポンプの保護や安定したプロセス維持にお役立ていただけます。

水冷バッフル BWシリーズ

油圧拡散ポンプ単独で運転する場合は、作動液の蒸気逆流量が多くなります。
ULK 型ポンプでは、10-3mg/min cm2程...

フォアライントラップ UFTシリーズ/OFIシリーズ

フォアライントラップUFT シリーズは、モレキュラシーブス(人工ゼオライト)の室温における吸着作用を利用したもので、油回転真空ポンプ排...

粉体吸着トラップ TROシリーズ

TRO シリーズは、CVD などの多量な粉体が発生するプロセスでの使用に効果を発揮します。
装置と油回転真空ポンプの間に設置...

オイルフィルトレ-ションシステム OFシリーズ/UFO・UFWシリーズ

CVD 及びエッチングプロセスに使用される油回転真空ポンプには、反応生成物、未反応ガス、酸などが吸引されます。そのため、作動油の酸化や...

オイルミストトラップ

油回転真空ポンプの始動時、あるいは低真空で作業する時、排気されるガスとともにポンプの油が油煙や油滴となって排出されます。
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