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装置診断システム FABISEQ(プロセス装置のデータを収集、グラフ表示するソフトウェア)や水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア Depoview(水晶発振式成膜コントローラ(CRTM)の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフトウェア)を紹介しています。

水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア Depoview

Depoviewは、アルバック製水晶発振式成膜コントローラ(CRTM)の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフ...

装置診断システム FABISEQ

FABISEQは、プロセス装置のデータを収集、グラフ表示するソフトウェアです。装置データの見える化により、不良品が発生した原因・経緯の...

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