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製品情報

成膜用電源 / EBガン

EBガン、EB電源、DC電源、RF電源などアルバックが長年の装置製造で培ったプロセスノウハウを取り入れた電源をご提供いたします。

DC PULSE 電源DPG-5P/DPG-10P

DPG-Pシリーズは反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。

DC電源 DPG-10/DPG-20

DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。信頼性のある部品と回路で構成しております。長...

スパッタリング用DC電源 DCSシリーズ

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。...

異常放電防止ユニットA2Kシリーズ

A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニ...

RF電源 RFS-Nシリーズ

RFS-Nシリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載...

金属蒸着用EBガン EGNシリーズ

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15mmハー...

光学用EBガン EGP-1G

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。

EB電源HPS-Nシリーズ

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の...

EB電源 HPSシリーズ

EB電源HPSシリーズは、最大5/10/16kW の電力を供給し、より安定した蒸着をめざした電子ビーム蒸着用電源です。ソリッドステート...

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