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製品情報

加工など

レーザースライブや大型基板エッチング装置など真空をベースにしたあらゆるサービス、分析、アフターフォローまでを約束するアルバックソリューションズの製品です。

液晶滴下・真空貼り合せ装置 Vシリーズ

液晶パネル製造工程で、シール剤、液晶を塗布した後に二枚の基板を貼り合せる装置です。搬送システムを含めた液晶滴下貼り合せ(ODF)ライン...

TCOレーザースクライブ装置 ULT-1400

本装置はガラス基板上に成膜された透明電極(TCO)膜を近赤外パルスレーザアブレーション法により除去する枚用式レーザスクライブ装置です。...

レーザーエッジディレーション・絶縁スクライブ装置 ULE-1400

本装置は2種類のレーザを搭載した枚葉式レーザエッジディレーションおよび絶縁レーザスクライブ装置です。 ULVAC独自のレーザ処理方法に...

乾燥炉 AMF-1000 ACF-500 ASF-500

アルバックの真空乾燥炉は、HVからUHVの圧力領域でクリーンな環境下での脱ガス、前処理用途や、部品表面に付着した物質を真空アニールにて...

放出ガス測定装置 TDS-2001

本装置は小試料対応の放出ガス分析装置です。 半導体プロセスやディスプレイ等、様々な分野にてご使用頂けます。新材料の開発用途に最適です。...

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