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製品情報

エッチング装置

アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。

量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800

量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡...

オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700

オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ(NLD)源を搭載した量産用ドライエッチング装置...

研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570

研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ(NLD)による低圧・低電子温度・高密...

バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact...

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP(ISM=Inductively Super Magnetro...

高密度プラズマドライエッチング装置 ULHITETM NE-7800H

高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、...

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