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製品情報

成膜関連装置

アルバックは真空技術を核とする基盤技術とその周辺技術を結合し、半導体、電子部品、薄型テレビ、太陽電池、自動車、医薬・食品・科学など多岐にわたる産業向け成膜装置を提供しています。

スパッタリング装置

あらゆる業界に多数の納入実績を誇るアルバックのスパッタリング装置です。

真空蒸着装置

アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機...

CVD装置

a-Si成膜や不動態膜成膜に不可欠なPE-CVD装置から、メタルCVD、熱CVD装置まで、枚...

エッチング装置

アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチ...

アッシング装置

電子デバイス、半導体デバイス製造工程に不可欠なレジスト除去技術を、環境配慮型...

イオン注入装置

半導体デバイス向け高性能イオン注入装置のシリーズです。SiC用の高温タイプも提供...

成膜関連・アニール装置

高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

加工など

レーザースライブや大型基板エッチング装置など真空をベースにしたあらゆるサービ...

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