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光学式プロセスモニタ

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。

光学式プロセスモニタOptius

プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。反応性スパッタリング...

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